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Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪D-600 包括一个 200 毫米电动载物台，具有 150 x 178 毫米 X-Y 运动范围。 新的测序软件具有手动纠偏对齐和对样本多达 1000 个位置的编程功能。 该系统具有先进的光学元件、具有 4 倍数码变焦的高分辨率 500万像素相机和增强的视频控制功能，可实现高度通用的样品可视化。
一、功能
设备特点
电动载物台 台阶高度：几纳米至1200μm
低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪
软件：用户友好的软件界面
主要应用
台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度
形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力
应用领域
大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体
SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管
高精度轮廓仪产品来源：
http://www.natengyiqi.com/Products-36784750.html
https://www.chem17.com/st125795/product_36784750.html