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晶圆探针式轮廓仪/台阶仪设备特点：
台阶高度：几纳米至1000um 微力恒力控制：0.03mg至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接
视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧矫正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
生产能力：通过测序，模式识别和SECS/GEM实现全自动化
主要应用： 薄膜/厚膜台阶
刻蚀深度测量 光阻/光刻胶台阶
柔性薄膜 表面粗糙度/波纹度表征
表面曲率和轮廓分析 薄膜的2DStress量测
表面结构分析 表面3D轮廓成像
缺陷表征和分析 其他多种表面分析功能
三、应用案例
台阶高度 P-7可以提供纳米级到1000μm的2D和3D台阶高度的测量。 这使其能够量化在蚀刻，溅射，SIMS，沉积，旋涂，CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。P-7具有恒力控制功能，无论台阶高度如何都可以动态调整并施加相同的微力。这保证了良好的测量稳定性并且能够测量诸如光刻胶的软性材料。
晶圆探针式轮廓仪产品来源：
http://www.natengyiqi.com/Products-36785623.html
https://www.chem17.com/st125795/product_36785623.html